近年,隨著全球信息化發(fā)展以及智能化的普及,在諸如人工智能、新能源汽車等新興產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)勁拉動(dòng)下,全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)攀升,并于2022年成功跨越5000億美元大關(guān)。與此同時(shí),全球晶圓研磨拋光機(jī)市場(chǎng)亦展現(xiàn)出穩(wěn)健的擴(kuò)張趨勢(shì),據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)QYR(恒州博智)的最新統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)揭示,至2023年,該市場(chǎng)規(guī)模已擴(kuò)大至約45.03億美元。
在此背景下,我國(guó)的晶圓研磨拋光行業(yè)也成功跨越導(dǎo)入階段,邁入了一個(gè)全新的發(fā)展時(shí)期。依托政府對(duì)半導(dǎo)體相關(guān)制造設(shè)備的政策支持,國(guó)內(nèi)晶圓研磨拋光機(jī)市場(chǎng)需求快速增長(zhǎng),2023年已增長(zhǎng)至12.87億美元,全球占比顯著提升。
高效精準(zhǔn)納米級(jí)拋光的
超精密半導(dǎo)體智能研磨拋光機(jī)
尤其在一些細(xì)分領(lǐng)域和特定市場(chǎng),國(guó)產(chǎn)拋光機(jī)已具備與國(guó)際品牌競(jìng)爭(zhēng)的實(shí)力,展現(xiàn)出廣闊的發(fā)展前景。其中,金嶺機(jī)床憑借其出色的研發(fā)實(shí)力,推出的超精密半導(dǎo)體智能研磨拋光機(jī),正是這一趨勢(shì)中的成功者——成功攻克了納米級(jí)拋光、納米顆粒超潔凈清洗、納米精度膜厚在線檢測(cè)、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制等研磨機(jī)核心關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體晶圓表面高效精準(zhǔn)的納米級(jí)拋光,解決了超精密半導(dǎo)體研磨拋光機(jī)襯底納米尺度“拋得光”、晶圓全局“拋得平”、納米厚度“停得準(zhǔn)”、納米顆粒“洗得凈”等關(guān)鍵技術(shù)難題。使得拋光效率提升 28.6%、拋光質(zhì)量提升 20%、功率降低 15%,彰顯了很強(qiáng)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
2023年,該設(shè)備憑借其出色的技術(shù)創(chuàng)新能力和顯著的應(yīng)用成效,獲得了湖南省科技成果評(píng)價(jià)的高度認(rèn)可——鑒定結(jié)果產(chǎn)品處于國(guó)內(nèi)水平;
2024年,該設(shè)備的優(yōu)異表現(xiàn)持續(xù)發(fā)酵,進(jìn)一步贏得了行業(yè)內(nèi)外的高度關(guān)注。該設(shè)備通過(guò)湖南省工信廳組織評(píng)審,金嶺機(jī)床被認(rèn)定為“第五批湖南省制造業(yè)單項(xiàng)冠軍企業(yè)”。
設(shè)備特點(diǎn)與性能
高精度、高良品率、高效率
1 設(shè)備整體采用四立柱式機(jī)架結(jié)構(gòu),正面及兩側(cè)面操作空間開(kāi)闊,上下料及清洗維修方便;
2 精密下盤具有冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的同時(shí),具備壓力盤水循環(huán)冷卻系統(tǒng),控制拋光時(shí)的盤面溫度,保證拋光質(zhì)量;
3 各軸可獨(dú)立控制,可設(shè)置加工參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光加工時(shí)的參數(shù)監(jiān)控與控制;
4 車刀裝置安裝于設(shè)備上,無(wú)需取下銅盤便可進(jìn)行車平面后溝槽的工作,有效地提高了效率,并降低了勞動(dòng)強(qiáng)度;
5 電氣比例閥對(duì)拋光時(shí)的壓力進(jìn)行分段式設(shè)置供給,達(dá)到晶圓拋光的目的,減少不良品發(fā)生率。
6 采用進(jìn)口或國(guó)內(nèi)品牌減速機(jī),噪音小,控制穩(wěn)定,確保加工晶圓的精度;
7 本設(shè)備可選配機(jī)器人上下料系統(tǒng);
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛
尤適配藍(lán)寶石襯底的研磨和拋光
該設(shè)備主要是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓的智能化超精密研磨拋光。適用于半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、藍(lán)寶石材料、陶瓷材料、硅、鍺等材料,尤其以藍(lán)寶石襯底的研磨和拋光。
藍(lán)寶石襯底具備優(yōu)異的光學(xué)性能和化學(xué)穩(wěn)定性,通常用于超高速集成電路(SOS)、工業(yè) LED 等領(lǐng)域,并廣泛應(yīng)用于紅外軍事器件、航天飛行器、高強(qiáng)度激光器和光通信的窗口材料等領(lǐng)域和特殊環(huán)境。
目前,該設(shè)備已在新能源 LED 以及特種超高速集成電路產(chǎn)品等領(lǐng)域積累了一批優(yōu)質(zhì)客戶資源,其中包含多家上市公司與細(xì)分領(lǐng)域企業(yè)。
設(shè)備裝配中,即將發(fā)貨
產(chǎn)品參數(shù)
可以提供定制化解決方案
可為特定客戶的問(wèn)題
研發(fā)設(shè)計(jì)對(duì)應(yīng)產(chǎn)品及服務(wù)
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